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掃描電子顯微鏡對樣品有哪些要求?

 更新時間:2025-06-30 點擊量:211

掃描電子顯微鏡通過束來掃描樣品的表面并生成高分辨率的圖像。因為該圖像具有很高的價值,所以一定要嚴格按照要求進行操作。為了確保能夠得到清晰、準確的顯微圖像,在使用要合理處理樣品。

優勢:

1、高分辨率與寬放大倍數:

分辨率:常規SEM 1-10納米,場發射SEM 0.4-2納米。

放大倍數:10倍至1,000,000倍連續可調,覆蓋宏觀到納米尺度。

2、大景深與立體成像:景深比光學顯微鏡高數百倍,適合粗糙表面三維成像。

3、多功能分析:結合EDSEBSD等附件,可同步分析形貌、成分、晶體結構。

4、非破壞性觀察:無需超薄切片,可直接觀察大塊樣品。

對樣品的要求有:

1、不會被電子束分解

2、在電子束掃描下熱穩定性要好

3、能提供導電和導熱通道

4、大小與厚度要適于樣品臺的安裝

5、觀察面應該清潔,無污染物

6、進行微區成分分析的表面應平整

7、磁性試樣要預先去磁,以免觀察時電子束受到磁場的影響

使用過程中應避免樣品污染電子槍或探測器,操作時佩戴手套。遵守實驗室安全規程,避免長時間暴露于X射線。先降燈絲電流和高壓,再關閉真空系統,然后斷電。

掃描電子顯微鏡具有高分辨率、廣泛的應用領域和不斷發展的趨勢。它在材料科學、生命科學和納米技術等領域發揮著重要作用,為科學研究和工業應用提供了強大的工具。

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